Стандарт ISO 11039:2012 дает определения терминов и устанавливает методы измерения для получения характеристик скорости смещения датчика у приборов, используемых в сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ) в направлениях по осям X и Y, а также, для приборов СЗМ, измеряющих микрорельеф поверхности - скорость смещения датчика по оси Z. Хотя скорость долговременного смещения датчика может иметь нелинейный характер, и долговременное и кратковременное смещение можно охарактеризовать, используя либо среднестатистическую среднюю, либо среднестатистическую максимальную скорости смещения.
Данный международный стандарт может применяться для оценки скорости смещения по изображениям, полученным с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ). Он предназначен в помощь производителям для четкого и сообразного указания значений скорости смещения в технических условиях, а также призван помочь пользователям данного стандарта получить характеристики смещения датчика для разработки программы результативных экспериментов. Измерения, указанные в данном стандарте, не должны использоваться для коррекции полученных изображений.
